GB/T 14264-2009《半导体材料术语》
本标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。
本标准适用于元素和化合物半导体材料。
标准信息:
- GB/T 33763-2017《蓝宝石单晶位错密度测量方法》
- GB/T 6624-1995《硅抛光片表面质量目测检验方法》
- GB/T 24578-2009《硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法》
- GB/T 12963-2009《硅多晶》
- YS/T 15-2015《硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法》
- YS/T 14-2015《异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法》
- YS/T 1061-2015《改良西门子法多晶硅用硅芯》
- YS/T 24-2016《外延钉缺陷的检验方法》
- YS/T 840-2012《再生硅料分类和技术条件》
- YS/T 679-2008《非本征半导体中少数载流子扩散长度的稳态表面光电压测试方法》
- YS/T 985-2014《硅抛光回收片》
- YS/T 28-2015《硅片包装》
- SJ 21122-2016《PVTSiC76SI1-BP01型碳化硅单晶抛光片规范》
- SJ 21121-2016《PVTCdSN1/T-BP01型硫化镉单晶抛光片规范》
- SJ 21120-2016《高电子迁移率晶体管用半绝缘砷化镓抛光片规范》
- SJ 21062-2016《半导体芯片产品处理、包装和贮存的操作要求》
- SJ/T 11632-2016《太阳能电池用硅片微裂纹缺陷的测试方法》
- SJ/T 11631-2016《太阳能电池用硅片外观缺陷测试方法》
- SJ/T 11630-2016《太阳能电池用硅片几何尺寸测试方法》
- SJ/T 11629-2016《太阳能电池用硅片和电池片的在线光致发光分析方法》
- SJ/T 11628-2016《太阳能电池用硅片尺寸及电学表征在线测试方法》
- SJ/T 11627-2016《太阳能电池用硅片电阻率在线测试方法》
- SJ/T 11505-2015《蓝宝石单晶抛光片规范》
- SJ/T 11504-2015《碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法》
- SJ/T 11503-2015《碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法》
- SJ/T 11502-2015《碳化硅单晶抛光片规范》
- SJ/T 11501-2015《碳化硅单晶晶型的测试方法》
- SJ/T 11500-2015《碳化硅单晶晶向的测试方法》
- SJ/T 11499-2015《碳化硅单晶电学性能的测试方法》
- SJ/T 11489-2015《低位错密度磷化铟抛光片蚀坑密度的测量方法》
- SJ/T 11488-2015《半绝缘砷化镓电阻率、霍尔系数和迁移率测试方法》
- SJ/T 11487-2015《半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法》
- SJ/T 11471-2014《发光二极管外延片测试方法》
- SJ/T 11470-2014《发光二极管外延片》
- GB/T 6624-2009《硅抛光片表面质量目测检验方法》
- GB/T 6620-2009《硅片翘曲度非接触式测试方法》
- GB/T 6619-2009《硅片弯曲度测试方法》
- GB/T 4060-2007《硅多晶真空区熔基硼检验方法》
- GB/T 4059-2007《硅多晶气氛区熔基磷检验方法》
- GB/T 4058-2009《硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法》
- GB/T 32282-2015《氮化镓单晶位错密度的测量 阴极荧光显微镜法》
- GB/T 32281-2015《太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法》
- GB/T 32280-2015《硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法》
- GB/T 32189-2015《氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法》
- GB/T 32188-2015《氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法》
- GB/T 32279-2015《硅片订货单格式输入规范》
- GB/T 32278-2015《碳化硅单晶片平整度测试方法》
- GB/T 32277-2015《硅的仪器中子活化分析测试方法》
- GB/T 31353-2014《蓝宝石衬底片弯曲度测试方法》
- GB/T 31352-2014《蓝宝石衬底片翘曲度测试方法》
- GB/T 31093-2014《蓝宝石晶锭应力测试方法》
- GB/T 31092-2014《蓝宝石单晶晶锭》
- GB/T 30868-2014《碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法》
- GB/T 30867-2014《碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法》
- GB/T 30860-2014《太阳能电池用硅片表面粗糙度及切割线痕测试方法》
- GB/T 30859-2014《太阳能电池用硅片翘曲度和波纹度测试方法》
- GB/T 30858-2014《蓝宝石单晶衬底抛光片》
- GB/T 30857-2014《蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法》
- GB/T 30856-2014《LED外延芯片用砷化镓衬底》
- GB/T 30855-2014《LED外延芯片用磷化镓衬底》
- GB/T 30854-2014《LED发光用氮化镓基外延片》
- GB/T 30656-2014《碳化硅单晶抛光片》
- GB/T 30453-2013《硅材料原生缺陷图谱》
- GB/T 29850-2013《光伏电池用硅材料补偿度测量方法》
- GB/T 29508-2013《300mm 硅单晶切割片和磨削片》
- GB/T 29506-2013《300mm 硅单晶抛光片》
- GB/T 29505-2013《硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法》
- GB/T 29504-2013《300mm 硅单晶》
- GB/T 29055-2012《太阳电池用多晶硅片》
- GB/T 26072-2010《太阳能电池用锗单晶》
- GB/T 26071-2010《太阳能电池用硅单晶切割片》
- GB/T 26069-2010《硅退火片规范》
- GB/T 26068-2010《硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法》
- GB/T 26067-2010《硅片切口尺寸测试方法》
- GB/T 26066-2010《硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法》
- GB/T 26065-2010《硅单晶抛光试验片规范》
- GB/T 25076-2010《太阳电池用硅单晶》
- GB/T 24581-2009《低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法》
- GB/T 24578-2015《硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法》
- GB/T 20228-2006《砷化镓单晶》
- GB/T 19922-2005《硅片局部平整度非接触式标准测试方法》
- GB/T 19199-2015《半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法》
- GB/T 17170-2015《半绝缘砷化镓单晶深施主EL2浓度红外吸收测试方法》
- GB/T 1558-2009《硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法》
- GB/T 1557-2006《硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法》
- GB/T 1555-2009《半导体单晶晶向测定方法》
- GB/T 1554-2009《硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法》
- GB/T 1553-2009《硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法》
- GB/T 14847-2010《重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法》
- GB/T 14144-2009《硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法》
- GB/T 13389-2014《掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程》
- GB/T 13388-2009《硅片参考面结晶学取向X射线测试方法》
- GB/T 13387-2009《硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法》
- GB/T 12963-2014《电子级多晶硅》
- GB/T 12962-2015《硅单晶》
- GB/T 11094-2007《水平法砷化镓单晶及切割片》
- GB/T 11093-2007《液封直拉法砷化镓单晶及切割片》
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