GB/T 32278-2015《碳化硅单晶片平整度测试方法》
本标准规定了碳化硅单晶抛光片的平整度,即总厚度变化(TTV)、局部厚度变化(LTV)、弯曲度(Bow)、翘曲度(Warp)的测试方法。
本标准适用于直径为50.8mm、76.2mm、100mm,厚度0.13mm~1mm 碳化硅单晶抛光片平整度的测试。
标准信息:
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- 中文名称:碳化硅单晶片平整度测试方法
- 英文名称:Test method for flatness of monocrystalline silicon carbide wafers
- 标准分类:通用基础标准
- 国际标准分类:77.040
- 中国标准分类:H21
- 标准前缀:GB/T
- 标准状态:现行
- 发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
- 发布日期:2015-12-10
- 废止日期:无
- 实施日期:2017-01-01
- 页数:6 页
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