GB/T 14140-2009《硅片直径测量方法》
本标准规定了用光学投影仪测量硅片直径的方法。
本标准适用于测量圆形硅片的直径,可测最大直径为Φ300mm。本标准不适用于测量硅片的不圆度。
标准信息:
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本标准规定了用光学投影仪测量硅片直径的方法。
本标准适用于测量圆形硅片的直径,可测最大直径为Φ300mm。本标准不适用于测量硅片的不圆度。
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