GB/T 16943-2009《电子工业用气体 氦》
本标准规定了氦的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氦,以及经纯化方法得到的氦。它们在半导体制照中用作清洗气、加压气,也用作载气和保护气等。
标准信息:
第1页
第2页
第3页
第4页
第5页
第6页
第7页
第8页
本标准规定了氦的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氦,以及经纯化方法得到的氦。它们在半导体制照中用作清洗气、加压气,也用作载气和保护气等。
第1页
第2页
第3页
第4页
第5页
第6页
第7页
第8页