GB/T 24469-2009《电子工业用气体 5N氯化氢》

本标准规定了电子工业用气体5N氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、储存、充装、分装和安全要求。
本标准适用于以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液化氯化氢。
氯化氢主要用于微电子工业半导体器件生产中单晶硅片气相抛光、外延和基座腐蚀工艺。也可用于硬质合金和玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。
分子式:HCl
相对分子质量:36.46l(按2005年国际相对原子质量)