GB/T 22462-2008《钢表面纳米、亚微米尺度薄膜 元素深度分布的定量测定 辉光放电原子发射光谱法》

本标准采用辉光放电原子发射光谱法用于定量测定钢表面纳米、亚微米尺度薄膜(金属镀膜和氧化膜)中膜厚、镀层质量(单位面积)和薄膜中的元素深度分布。
本方法适用于测定3nm～1000nm厚度的钢表面薄膜，适用的元素包括:铁、铬、镍、铜、钛、锰、铝、碳、磷、氧、氮和硅。