GB/T 1557-2018《硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法》
本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶晶体中间隙氧含量的方法。
本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω · cm的N型硅单晶和室温电阻率大于0.5Ω · cm的P型硅单晶中间隙氧含量的测定。以常温红外设备测试时，氧含量（原子数）测试范围从1X1016cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度；以低温红外设备测试时，氧含量（原子数）的测试范围从0.5X1015cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度。
标准信息：
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- 中文名称：硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
- 英文名称：Test method for determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption
- 标准分类：产品方法标准
- 国际标准分类：77.040
- 中国标准分类：H17
- 标准前缀：GB/T
- 标准状态：现行
- 发布单位：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- 发布日期：2018-09-17
- 废止日期：无
- 实施日期：2019-06-01
- 页数：12 页
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