GB/T 36646-2018《制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备》
本标准规定了制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备(以下简称“HVPE设备”)的产品分类和标记、工作条件、要求、检测方法、检验规则、标志、包装、运输和储存。
本标准适用于制备直径50.8mm~152.4mm氮化物半导体材料的HVPE设备。
标准信息:
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- 中文名称:制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备
- 英文名称:Equipment for preparation of nitride semiconductor materials by hydride vapor phase epitaxy
- 标准分类:完整的产品标准
- 国际标准分类:31.220
- 中国标准分类:L95
- 标准前缀:GB/T
- 标准状态:现行
- 发布单位:国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- 发布日期:2018-09-17
- 废止日期:无
- 实施日期:2019-01-01
- 页数:20 页
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