JC/T 1048-2018《单晶硅生长用石英坩埚》
本标准规定了单晶硅生长用石英坩埚(以下简称石英坩埚)的术语和定义、分类和标记、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于用高纯石英砂做原料,采用电弧法工艺生产,应用于直拉法生长单晶硅材料的石英坩埚。
标准信息:
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本标准规定了单晶硅生长用石英坩埚(以下简称石英坩埚)的术语和定义、分类和标记、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于用高纯石英砂做原料,采用电弧法工艺生产,应用于直拉法生长单晶硅材料的石英坩埚。
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