YS/T 1024-2015《溅射用钽靶材》
本标准规定了用以制备薄膜的溅射用靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、
质量证明书和订货单(或合同)内容。
本标准适用于以真空电子束熔炼的高纯锭为原料,通过塑性加工、热处理、机械加工、焊接等方法制造的溅射用靶材(以下简称靶材)。
标准信息:
第1页
第2页
第3页
第4页
第5页
第6页
第7页
第8页
第9页
第10页
本标准规定了用以制备薄膜的溅射用靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、
质量证明书和订货单(或合同)内容。
本标准适用于以真空电子束熔炼的高纯锭为原料,通过塑性加工、热处理、机械加工、焊接等方法制造的溅射用靶材(以下简称靶材)。
第1页
第2页
第3页
第4页
第5页
第6页
第7页
第8页
第9页
第10页