YS/T 837-2012《溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法》
本标准规定了溅射用靶材-背板结合质量超声纵波脉冲反射液浸法C扫描检验技术的一般方法。内容包括一般要求、检验设备、对比试块、检验过程、缺陷评定及检验报告等。本标准适用于用中间层材料结合方式(如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等)的溅射靶材-背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。
标准信息:
- 免责声明:本网站所提供的电子文本仅供参考,请以正式标准出版物为准。本网站所提供的电子文本均来自于互联网,其版权由其发行商所有,仅供个人学习、研究之用,未经授权,禁止复制、发行、汇编、翻译等。
- 中文名称:溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
- 英文名称:Standard practice for ultrasonic C-scan bond evaluation of sputtering target-backing plate assemblie
- 标准分类:产品方法标准
- 国际标准分类:77.120.99
- 中国标准分类:H68
- 标准前缀:YS
- 标准状态:现行
- 发布单位:中华人民共和国工业和信息化部
- 发布日期:2012-11-07
- 废止日期:无
- 实施日期:2013-03-01
- 页数:10 页
第1页
第2页
第3页
第4页
第5页
第6页
第7页
第8页
第9页
第10页