YS/T 936-2013《集成电路器件用镍钒合金靶材》
本标准规定了集成电路器件用镍钒合金溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及订货单或合同内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类镍钒合金溅射靶材。
标准信息:
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- 中文名称:集成电路器件用镍钒合金靶材
- 英文名称:Sputtering nickel vanadium alloy target used in integrated circuit device
- 标准分类:完整的产品标准
- 国际标准分类:77.150.40
- 中国标准分类:H62
- 标准前缀:YS
- 标准状态:现行
- 发布单位:中华人民共和国工业和信息化部
- 发布日期:2013-10-17
- 废止日期:无
- 实施日期:2014-03-01
- 页数:16 页
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